?三豐三次元輪廓儀（3D 輪廓儀）是一種高精度測量儀器，主要用于檢測物體表面的微觀和宏觀輪廓形態(tài)、粗糙度、臺階高度、曲率等三維幾何參數(shù)，廣泛應(yīng)用于精密制造、半導(dǎo)體、光學(xué)、汽車零部件等領(lǐng)域。其核心原理是通過光學(xué)或接觸式傳感器掃描樣品表面，將采集到的二維數(shù)據(jù)重構(gòu)為三維形貌，從而實現(xiàn)對表面特征的定量分析。
根據(jù)測量方式的不同，常見類型包括：
1. 光學(xué)非接觸式輪廓儀
利用光的反射、干涉或聚焦特性實現(xiàn)測量，無需接觸樣品，適合柔軟、易損或高精度表面（如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鏡片）。
白光干涉輪廓儀：通過白光干涉條紋分析表面高度，精度可達(dá)納米級，測量范圍較大（微米到毫米級）。
激光共聚焦輪廓儀：激光聚焦于樣品表面，通過掃描收集反射光強度，生成三維圖像，適合高分辨率測量（亞微米級）。
聚焦探測輪廓儀：通過檢測光斑聚焦位置變化計算高度，速度快，適合生產(chǎn)線在線檢測。
2. 接觸式輪廓儀
依靠探針（如金剛石針尖）與樣品表面接觸，通過機械掃描記錄針尖位移，精度可達(dá)納米級，但可能劃傷樣品，適合硬質(zhì)、耐磨表面（如金屬零件、模具）。
優(yōu)勢：不受表面光學(xué)特性影響（如深色、粗糙表面）。
劣勢：測量速度較慢，對軟質(zhì)材料不友好。