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三次元儀器測量顯微鏡有哪些分類優(yōu)點？

文章出處：新聞資訊責(zé)任編輯：東莞市精豐測量儀器有限公司發(fā)表時間：2020-08-13

　　? 測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試儀器。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。那么三次元儀器測量顯微鏡有哪些分類優(yōu)點？

1、光學(xué)測量顯微鏡

采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。主要運用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。

主要優(yōu)點：工作臺除作X、Y坐標(biāo)的移動外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，是一種理想的固定場所小型精密測量儀器。

2、數(shù)碼測量顯微鏡

一種將將顯微鏡看到的實物圖像通過數(shù)模轉(zhuǎn)換，使其成像在顯微鏡自帶的屏幕上或計算機(jī)上的顯微鏡設(shè)備。特別適用于制造業(yè)、精密零件以及不方便移動的物件的觀察測量。廣泛地適用于生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。

主要優(yōu)點：小巧便攜，只需一臺計算機(jī)就可以直觀的觀測微觀放大圖像，進(jìn)行精確數(shù)據(jù)測量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源（熒光、紅外）用于特殊場所觀測。數(shù)碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用，已成為一種可靠實用的精密測量儀器。

3、Z軸非接觸式

以裂像聚焦指示器為測量原理, 采用高精度光學(xué)聚焦點檢測方式進(jìn)行非接觸高低差測量。不僅可以對準(zhǔn)目標(biāo)影像, 還能觀察測量點的表面狀態(tài),對高度,深度,高低差等進(jìn)行測量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場，微分干涉，金相，偏光等多種觀察功能。所以對極細(xì)微的間隙高低差，夾雜物、微米以下的突起、細(xì)微劃痕、以及金相組織進(jìn)行觀察。

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